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美國安捷倫Agilent

渦輪分子泵系統

TPS-flexy

特性

性能指標

TPS-flexy配置 配置規格
TPS-flexy,帶有TwisTorr 84 FS 渦輪分子泵和 MD-1 隔膜泵

形圖

泵速曲線 

壓力與時間關系圖                                 

技術指標

TPS-flexy,帶有TwisTorr 84 FS 渦輪分子泵和 IDP-3 渦旋式干泵

外形圖 

泵速曲線

壓力與時間關系圖

技術指標

TPS-flexy,帶有TwisTorr 304 FS 渦輪分子泵和 SH-110 渦旋式干泵

外形圖

泵速曲線

壓力與時間關系圖

技術指標


TPS-mini                                                                    外形圖


  

特性

抽速與進氣口壓力關系圖                                               壓力與時間關系圖(排空體積 1 L)

  

技術規格



TPS-mobile移動式分子泵                                              外形圖


   

特性                                                                          壓力與時間曲線

                


抽速


抽真空


極限真空度


配置



TPS-緊湊型                                                                外形圖

   


特性

抽速與壓力,以及壓力與時間關系圖

技術規格

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