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英國愛德華Edwards

nXDS渦旋泵

nXDS干式渦旋泵使用手冊

      


概述

nXDSi 是下一代完全無油的干式渦旋泵,并取代 XDS。nXDS 提高了傳統泵的性能,抽速更高,極限壓力更低,功耗更低,噪聲更小。氣鎮允許泵送冷凝性蒸汽,包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 還采用了最新的端部密封技術,顯著延長了端部密封更換的時間間隔。具有自動電壓輸入感知功能的集成變頻器驅動提供整體優化的泵送性能,nXDS 可完全進行現場維修。 

用途

一般清潔泵送應用

電子掃描顯微鏡 - SEM

射束線和高能物理

前級渦輪泵

超高速離心機

覆層

低溫學

脫氣/硫化 - 油,環氧樹脂

蒸餾/萃取/過濾

冷凍干燥

熔爐

凝膠體干燥

實驗室工作臺上真空

激光、氣體回收和再循環

氦檢漏儀

負載鎖和傳輸腔

稀有氣體再循環

稀有氣體回收

冷凍制造

研發

旋轉離心蒸發器

SEM/FIB(離子束維修)

溶劑回收

表面科學儀器 

特性與優勢

真空外殼中不需要使用潤滑劑,完全密封可保證徹底的清潔和干燥真空,防止交叉污染

無大氣壓到真空的軸封可使軸承完全隔離,從而阻止制程攻擊,軸承也能以更低溫度運行,使用時間更長

簡單的單側滾軸布置與創新的電機和軸承設計相結合,只需最低程度的特殊工具,就能實現輕松的現場服務,因此可降低運行成本,盡可能延長正常運行時間

改進了電機和傳動效率,可降低功耗和運行成本

先進的接口提供了各種傳統、模擬和數字控制方法,可通過 USB、RS232 或 RS485 實現遠程控制/監視

技術數據


標稱旋轉速度

1800 rpm

1800 rpm

1800 rpm

1800 rpm

排量

6.8 m3h-1  

12.7 m3h-1  

17.1 m3h-1  

28.0 m3h-1

峰值抽速

6.2 m3h-1 

11.4 m3h-1  

15.1 m3h-1  

22.0 m3h-1

極限真空(總壓力)

0.020 mbar 

0.007 mbar 

0.007 mbar 

0.030 mbar 

最小待機旋轉速度

1200 rpm

1200 rpm

1200 rpm

1200 rpm

速度控制精度

 

 

 

 

(以全速百分比表示)

1%

1%

1%

1%

最小轉速時的抽速

4.1

7.5

9.9

10

最大連續進氣口壓力

200 mbar

200 mbar

200 mbar

50 mbar

電機功率(一相)

260 W

280 W

300 W

260 W

電源連接器(1 相)

IEC EN60320 C13

IEC EN60320 C13

IEC EN60320 C13

IEC EN60320 C13

推薦保險絲

10A,250Vac rms

10A,250Vac rms

10A,250Vac rms

10A,250Vac rms

重量

26.2 kg  /  58 lb

25.8 kg  /  57 lb

25.2 kg  /  56 lb

25.6 kg  /  56 lb

入口法蘭

NW25

NW25

NW25

NW25

排氣口法蘭

NW25

NW25

NW25

NW25

噪音級別

52 dB(A)

52 dB(A)

52 dB(A)

52 dB(A)

入口法蘭處抗振性

< 4.5 mms-1   (rms)

< 4.5 mms-1   (rms)

< 4.5 mms-1   (rms)

< 4.5 mms-1  (rms)

密封性(靜態)

< 1x10-6 mbar ls-1  

< 1x10-6 mbar ls-1  

< 1x10-6 mbar ls-1 

< 1x10-6 mbar ls-1

工作溫度范圍

10 至 40 °C  /  41 至 104 °F

10 至 40 °C  /  41 至 104 °F

10 至 40 °C  /  41 至 104 °F

10 至 40 °C  /  41 至 104 °F


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