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英國愛德華Edwards

EH機械增壓泵

      

概述


EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎,仍是最受歡迎的泵,可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。
機械增壓泵在相對較低的壓力下工作,不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下,因此高度可靠。

應用

半導體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、CO2 激光

功能和優勢

適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應用場合。

它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。

EH 泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供:

安靜的無振動運行。

牢靠且防腐蝕。

先進的軸封技術,處理艙中不會出現油污染

防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。

經驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子,并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門,因此可將維護要求降到最低。

軸封的設計經過優化,可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要最高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外,這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。

動態平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現泵的平穩、運行噪音小,而這些特點正是先進技術設備的制造商所需要的。

  

技術數據

 

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